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產(chǎn)品展示
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藍(lán)寶石晶片
產(chǎn)品編號(hào)：2012121372342
產(chǎn)品產(chǎn)地：
產(chǎn)品描述：藍(lán)寶石襯底，藍(lán)寶石基片，藍(lán)寶石晶片，藍(lán)寶石襯底廠(chǎng)家
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產(chǎn)品介紹
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
藍(lán)寶石（Sapphire,又稱(chēng)白寶石，分子式為Al2O3）單晶是一種優(yōu)秀的多功能材料。它耐高溫，導(dǎo)熱好，硬度高，透紅外，化學(xué)穩(wěn)定性好。廣泛用于工業(yè)、國(guó)防和科研的多個(gè)領(lǐng)域（如耐高溫紅外窗口等）。同時(shí)它也是一種用途廣泛的單晶基片材料，是當(dāng)前藍(lán)、紫、白光發(fā)光二極管（LED）和藍(lán)光激光器（LD）工業(yè)的首選基片（需首先在藍(lán)寶石基片上外延氮化鎵薄膜），也是重要的超導(dǎo)薄膜基片。
產(chǎn)品規(guī)格說(shuō)明
1.常規(guī)藍(lán)寶石晶片
 
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Crystal Materials
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99,996% of Al2O3,High Purity, Monocrystalline, Al2O3
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Crystal quality
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Inclusions, block marks, twins, Color, micro-bubbles and dispersal centers are non-existent
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Diameter
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2inch
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3inch
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4inch
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5inch ～ 7inch
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50.8± 0.1mm
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76.2±0.2mm
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100±0.3mm
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In accordance with the provisions of standard production
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Thickness
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430±15μm
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550±15μm
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650±20μm
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Can be customized by customer
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Orientation
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C- plane (0001) to M-plane (1-100) or A-plane(1 1-2 0) 0.2±0.1° /0.3±0.1°, R-plane (1-1 0 2), A-plane (1 1-2 0 ), M-plane(1-1 0 0), Any Orientation , Any angle
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Primary flat length
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16.0±1mm
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22.0±1.0mm
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32.5±1.5 mm
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In accordance with the provisions of standard production
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Primary flat Orientation
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A-plane (1 1-2 0 ) ± 0.2°
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TTV
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≤10μm
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≤15μm
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≤20μm
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≤30μm
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LTV
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≤10μm
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≤15μm
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≤20μm
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≤30μm
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TIR
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≤10μm
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≤15μm
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≤20μm
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≤30μm
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BOW
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≤10μm
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≤15μm
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≤20μm
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≤30μm
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Warp
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≤10μm
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≤15μm
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≤20μm
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≤30μm
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Front Surface
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Epi-Polished (Ra< 0.2nm)
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Back Surface
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Fine ground (Ra=0.5 to 1.2 μm), Epi-Polished (Ra< 0.2nm)
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Note
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Can provide high-quality sapphire substrate wafer according to customers' specific requirement
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2. R面藍(lán)寶石晶片
公司根據(jù)客戶(hù)的特殊需求，也另生產(chǎn)R面藍(lán)寶石晶片！
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4寸R面藍(lán)寶石襯底
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項(xiàng)目規(guī)格
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尺寸與公差
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單位
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直徑
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100±0.3
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mm
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厚度
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500
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μm
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厚度公差
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±20
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μm
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晶向
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R面
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定向精度
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定向精度＜0.08°（5′）
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基準(zhǔn)邊
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邊長(zhǎng)：32.5 ± 1.5
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mm
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基準(zhǔn)邊晶向
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（0ī11）
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定向精度＜0.08°（5′）
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表面粗糙度
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<0.2
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nm
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翹曲度（Warp）
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<20
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μm
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表面處理
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雙面拋光
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N/A
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硅片/SOI硅片/氧化硅片
